科研实验、半导体制造、航空航天真空压力气氛控制方案针对用户提出的低气压试验箱中的真空度精密控制系统，以及1333Pa -133Pa / 133Pa-0.133Pa的宽域真空度控制范围，本文基于动态平街法提出了切实可行的决方案。决方案采用了上游控制和下游控制两路独立高精度的PID程序控制回路，基于不同量程的高精度电容真空计，分别调节进气电动针阀和排气电动球阀，可实现各种低气压环境试验箱中高精度真空压力控制。此解决方案已在多个真空领域得到应用，并可以达到+1%的高精度控制。

真空压力气氛控制方案主要应用于半导体制造、科研实验、航空航天、高精度仪器较准、真空炉和冶金、电子束和蒸发沉积、食品包装等行业。设备在高温、低温、不同气压及不同气氛环境下的真空测试。通过模拟不同环境来测试器件的电学性能参数。以达到在符合的气压、气氛条件下运输、使用的可行性。本文以1333Pa -133Pa/133Pa-0.133Pa压力下腔体内气氛环境的湿度测试为例，充分验证了该系统设备的可行性。

已知压力决定了这个空间能容下的液体质量，所以要测试腔体内的气体浓度就需要改变腔体内的压力。首先测试气氛环境下的湿度，要确保进入腔室内的不同气体的比例以及湿度。这里我们需要用到气体配比器和气体湿度控制器，可以的控制进入气体的大小和气体加湿。

其次需要先计算出需要的压力范围内气体的质量。用理想气体定律公式

PV=nRT计算摩尔数，再由摩尔数计算气体的质量。由真空泵来达到更低的真空度，通过变送器来控制压力的大小。后使加湿过的气体通入到腔体内，测试器件的电学性能。此方案可以测试PPM甚至PPB级别的浓度。